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[发布] IBM的SOI工艺中一般用哪种SOI衬底,埋氧和顶层硅厚度是多少?

楼主
发表于 2017/3/27 16:50:12 | 只看该作者

IBM的SOI工艺中一般用哪种SOI衬底?埋氧和顶层硅厚度是多少?有没有详细的介绍?

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