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微纳工艺小白一枚,请教:请问:为什么刻蚀砷化镓或是磷化铟工艺,要和硅基器件中金属刻蚀分开?为什么说会污染?为什么说砷化镓、磷化铟脏呢?不明觉厉,请行家指点指点。
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刻蚀的过程中有沉积
hilary.hy : 谢谢,受教了
2017/4/1 15:14:21 删 除 回复
hilary.hy : 谢谢,受教了
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