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[发布] 什么是太阳能电池的背结?

楼主
发表于 2018/6/19 17:10:28 | 只看该作者
看太阳能电池制作流程中有一个叫 去除背结的工序,但是什么是背结,为什么要去除都没有解释。这里有产业内的达人知道嘛?
1 楼
发表于 2018/8/13 | 只看该作者

这里的“结”就是pn结,目前一般晶硅电池采用p型硅片,在磷扩散工艺中,硅片的两面和边缘都会被磷掺杂。光入射的那一面一般约定为正面,普通p型电池正面的pn结是最终需要使用的,而背面的则称为背结。

在后续的金属化工艺中,负正电极需要分别与正反两面的n型硅和p型硅接触。如果将扩散后的硅片直接金属化,相当于低电阻的高掺杂n型硅联通了正反两面的金属,太阳能电池本身被短路。为了解决这一问题,需要在扩散后将这一短路通路切断。

在“去背结”出现前,采用的方法是edge isolation刻边,用高能的等离子去掉硅片边缘的薄薄一层,这时正反两面还是都有n型扩散区,但背面的n型去会被后来的烧结进入硅中的铝“中和”,重新变为p 型。

由于等离子刻边自身的一些问题,后来schmid和rena陆续推出了湿法单面刻蚀的设备,在扩散后,用化学溶液腐蚀掉硅片背面和边缘的一层,在edge isolation的同时去掉了背结。这样做的优势在于对硅片的损伤小于等离子刻边;同时背面p 的铝因为不需要去“中和”n型的磷,相对p掺杂的浓度会更高,铝背场质量会更好;最后,去背结的同时会把背面刻蚀的相对平整,便于背面的金属化。


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