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Dimension3100原子力显微镜
Dimension 3100

主要配置:– Dimension 3100 扫描头和Nanoscope IIId控制器– 样品尺寸可达到8英寸晶圆,测量区域可达到6英寸范围。– 全面的表面局域电学测量模块(SCM/CAFM/SSRM,与Multimode共用)性能指标:同主要用途主要用途:– 表面形貌、成分分辨 • 具备接触、轻敲等多种模式成形貌像,XY分辨率0.25nm,Z噪声<0.05nm • 摩擦力图像、定量相位图像– 表面局域电场力、磁场力和表面电势: • 电场力、磁场力图像 • 表面电势可分辨表面两点电势差绝对值,分辨率10mV– 载流子浓度、氧化层缺陷、局域导电性 • 扫描电容模块(SCM)可测量dc/dV曲线,表征表面局域载流子浓度、氧化层缺陷等 • 导电原子力(CAFM) 可测量I/V曲线,表征表面局域导电性。偏压范围1mV-12V,电流范围10nA-1uA • 扫描扩展电阻(SSRM)可测量表面电阻分布,表征局域导电性和载流子浓度等。偏压范围1mV-12V,电流范围10pA-1mA– 纳米加工 • 可编程控制针尖动作和测量过程,对表面进行纳米操纵、刻蚀等 联系人:刘争晖 钟海舰联系电话:0512-62872550E-mail:zhliu2007@sinano.ac.cn; hjzhong2007@sinano.ac.cn