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应力仪
计算沉积薄膜前后硅片的曲率变化得到薄膜应力数值

技术指标:    

薄膜厚度测试范围:50nm~1200nm 

应力测试范围:1MPa~3000MPa 

硅片尺寸:4英寸~8英寸

   

应用领域:    应力测试仪,通过激光扫描方式测量硅片表面轮廓,计算沉积薄膜前后硅片的曲率变化得到薄膜应力数值