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K-MAC膜厚仪
示波管上的光阻薄膜材料与掩膜板

技术指标:    

测量方法: 非接触式 

测量原理:反射计 

类型:手动的 

平台尺寸: 4" (可选6" ) 

活动范围:150 x 120mm(70 x 50mm 移动距离) 

测量范围 :20nm-5um(根据膜的类型) 

目镜倍率:20x 典型值 (可选10x、50x) 

测量速度:1~2 sec./site 

照明类型:12V 35W Tungsten-Halogen Lamp Built-in Control Device & Transformer 

尺寸:190 x 265 x 316 mm 

重量:12Kg 

探头类型:三目探头 

可供选择:标准样品(K-MAC or KRISS or NIST)

   

应用领域:    

半导体:Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS Si, Ge, SiGe... 介质材料:SiO2, TiO2, TaO5, ITO, ZrO2, Si3N4, Photoresist, ARC,... 平板行业:(包括 LCD, PDP, OLED, ): a-Si, n -a-Si, Gate-SiNx MgO, AlQ3 , ITO, PR, CuPc, NPB, PVK, PAF, PEDT-PSS, Oxide, Polyimide... 光学涂层:硬度涂层、增反射薄膜、Color Filters、封装与功能薄膜... 太阳能电池: Doping a-Si(i-type, n-type, p-type), TCO(ZnO, SnO, ITO..) 聚合物:PVA, PET, PP, Dye, Npp, MNA, TAC, PR... Recordable materials: Photosensitive drum, Video head, ...